CMI 様

場所

装置部門

装置

CMI F6、7、8

TFT 

IN-Line 

CMI F6、7、9

CF

ステッパー

CMI

C3

4.5G Post-Bake

CMI

CMI

T0

C5

4.5G Pre-Bake

4.5G Pre-Bake

TPO様

場所

装置部門

装置

CMI

T3

Stripper

CANDO 様

場所

装置  

CANDO(湖口)

4.5G UV & Pre-Bake

CANDO ( 后里)

4.6G Dh & Pre Bake

ムラテック 村田機械様

場所

装置部門

装置

TSMC -Fab12 P4

OHT

STK セットアップ及び組立

TSMC -Fab5 P5

OHT

STK セットアップ及び組立

TSMC-Fab5 P6

OHT

STK セットアップ及び組立