場所

装置部門

装置名

TSMC F18B P6B

Clean Tier0

QEPSLE EOS

TSMC F18B P5B

Clean Tier0 

PEPSLK EOS

TSMC F18B P7A

Clean Tier0

GEPSL1 EOS

TSMC F18B P7A

Clean Tier0

GEPSLA EOS

TSMC F18A P7A

Clean Tier0

GEPSL3 EOS

TSMC F18B P6B

Clean Tiero

QEPSLJ EOS

TSMC F18B P8A

Clean Tier0

SEPSLA EOS

TSMC F18B P8A

Clean Tier0

SEPSL4 EOS

UMC F12A P6

Clean Tier0 

CUSOVT EOS