場所

装置部門

装置名

TSMC F18B P5B

Clean Tier0

PEPSLC EOS 

TSMC F12B P8A

Clean Tier0

LEPSL3 EOS

TSMC F18B P5B

Clean Tier0

PEPSLG EOS

TSMC F18B P6A 

Clean Tier0

QEPSLC EOS

TSMC F18B P6A

Clean Tier0

QEPSLB EOS

TSMC F18B P6A 

Clean Tier0 

QEPSL6 EOS

TSMC F18B P6A

Clean Tier0

QEPSLA EOS

TSMC F18B P6A

Clean Tier0

QEPSLD EOS

TSMC F18B P5B

Clean Tier0

PEPSLJ EOS